| ■チャンバー内の真空度を一定にする。 |
問題点
真空チャンバー内の真空度を−８０ｋＰａに設定しているため、真空ポンプが常に作動している。
装置が大きい。
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対策案
真空センサＭＶＳ−２０１搭載のコンバムを使用し、真空デジゲータ内の圧力を一定にする。
メリット １．装置がコンパクト ２．省エネ ３．回路が簡素
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| ■薬液を吸入する。 |
問題点
半導体製造工程で使用後不要になったシンナーを（ガス・洗浄液なども）吸引するが、薬液真空ポンプではマシンコストが高い。
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対策案
ＰＴＦＥコンバムを使用し吸引する。
メリット １．イニシャルコスト・ランニングコストの削減 ２．装置の小型化
＊コンバムの各ポートはＰＴＦＥ溶接が必要。吸引物によってはＳＵＳコンバムも検討。
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| ■通気性のあるワークの２枚取りを防ぐ（１） |
問題点
通気性のあるダンボールは、吸着する際、リークし、パッドを上げたとき２〜３枚吸引してしまう。
１枚ずつ取り出し搬送するため、両サイドにフックを付け、簡易な２枚取り防止対策は施していた。
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対策案
吸着後、パッドを引きずるように隣接のテーブルに移動させる。テーブルにはワークの半分程度かかるようにする。
パッドの一方をＰＪＧ（ジャバラ）パッドにするか、または５oほど取り付け位置をずらし、ワークが交互に上がるようにする。
＊ワークをセットする台はワークを吸着する都度、ワークの厚み分だけ上下させることが必要。
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| ■通気性のあるワークの２枚取りを防ぐ（２） |
問題点
２枚取り防止対策で、シリンダを交互に動かし、かつエアブローを実施していたが、制御や駆動機器が増加し、時間の短縮ができない。
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対策案
ＰＦＧ（平型）パッドとＰＢＧ（ジャバラ）パッドを使用する。
ＰＢＧの吸着縮代を利用し、ワークの片方を上げ、エアブローした後、ＰＦＧを上げる。
シンプルな構造で２枚取りを防止できる。
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| ■ニュートンリングの発生を防ぐ。 |
問題点
液晶関係の最終工程で、パネルを吸着したとき、ニュートンリングが発生する。ニュートンリングは、パッドの吸着時の窪みによって発生する。
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対策案
小径のパッドで多点で吸着し、真空度を低くする。ＰＡＧ（薄型）パッドのφ10などが適している。
パッド跡形防止対策も必要なときは、ＰＪＧ（ジャバラ）パッド＋コアを使用する。
＊吸着プレート開発中。
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| ■真空度が強くワークのガラスが割れる。 |
問題点
凸凹のあるガラス（ｔ＝３〜５o）で、ＰＦＧ（平型）パッドでは吸着できない。
ＰＤＧ（独泡）パッドを選定したが、３oでは真空度が強くガラスがパッドの内円部から円形に割れる。
真空度を落とし、パッドの数を増やさずに対応したい。
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対策案
ＰＤＧ（独泡）パッドの内部に吸い込み防止のＮＣナイロン（真空用の穴を多数あける）を入れ、ガラス面の反りを最小限度に抑える。
ガラスの表面研磨での歪防止対策として、ＰＢＧ・ＰＪＧなどのジャバラパッドにコアを入れることで、ガラスへの負荷を低減できる。
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